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당사는 반도체 제조 전공정 장비인 건식 식각장비(Dry Etcher) 및 관련 플라즈마 공정장비의 원천기술을 보유한 제조업체로, 200mm 및 300mm 금속막·실리콘·산화막 식각장비를 개발·생산하여 SK하이닉스 등 주요 반도체 업체에 납품하고 있습니다. 주요 사업은 반도체 생산장비의 개발, 생산, 판매 및 유지관리 서비스, 부품 개발, 소프트웨어·하드웨어 개발 등입니다.

반도체 제조장비반도체 설비 리모델링반도체 설비 유지관리반도체 설비 부품개발소프트웨어 개발하드웨어 개발건식 식각장비플라즈마 소스화학기상증착 장비원자층 박막증착 장비
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